[純水]、[超純水]雖是實(shí)驗(yàn)用水的名詞，卻無法明確表示水的純度。將水中的導(dǎo)電污染物質(zhì)去除到電阻率達(dá)到18.2MΩ.cm@25℃時，就稱為[超純水]。

在此必須注意的是，電阻率只是代表水中電解質(zhì)的含量，并不能表示不含其它的污染物質(zhì)。也就是說，稱為[超純水]的水，還是可能含有不確定量的有機(jī)物、微粒、微生物等污染物質(zhì)，會具有不同的TOC值。因此，必須同時使用[電阻率]與[TOC]來評估水質(zhì)。

不論以任何純化方式來去除污染物質(zhì)，若無法達(dá)到18.2MΩ.cm@25℃的水，都稱為[純水]。例如[離子交換樹脂水、[蒸餾水]、[反滲透水]等，都屬于[純水]。[蒸餾水]與[反滲透水]這一類的純水，由于純化速率較慢，都必須使用水箱儲存后再供使用。因此，純水在貯存過程中可能受到貯存器材的材質(zhì)、混雜在空氣中的污染物與微生物的污染，造成水質(zhì)的劣化。所以，所謂的[純水]也無法代表一定會有很好的質(zhì)量。其水質(zhì)會因?yàn)榧兓椒ㄅc使用環(huán)境的不同而有所不同。